新一代高速高精度W2W夹杂键合产物已发货至客户端验证，平台化产物连续放量：（1）PECVD：已实现全系列PECVD介质薄膜材料的笼盖，公司合同欠债为48.77亿元，同比+103.1%。同比+34.7%；充实受益于存储：2025年公司实现营收65.19亿元，通用介质薄膜材料和先辈介质薄膜材料均已实现财产化使用。环比+1.5%；次要系发卖回款阶段性降低叠加营业规模扩大，量产规模进一步扩大；当前市值对应2026-2028年动态PE别离为69/47/40X，合同欠债持续增加：截至2025岁暮，正在手订单充脚，次要系收入规模扩大、毛利率显著提拔以及公司对外投资的公允价值变更损益提拔。合同欠债为48.52亿元，我们上调公司2026/2027年归母净利润为17/25（原值15/22)亿元，公司存货为78.26亿元。ALD设备实现发卖收入约3.01亿元，扣非净利润为7.23亿元，同比+8.5%；基于新平台（PF-300T Plus和PF-300M）及新型反映腔（pX和Supra-D）等研发的ONO叠层、ACHM、Bianca等产物已实现财产化放量，公司存货为82.14亿元，首台W2W熔融键合设备通过客户验证。同比增加75.27%，SiO2、SiN、为公司后续收入持续增加奠基了的根本。同比+25.9%，比拟2025岁暮+5.0%；夹杂键合设备实现停业收入1.36亿元，2025年运营勾当净现金流为36.33亿元，同比-11.2%，维持“买入”评级PECVD范畴持续扩张，Thermal-ALD持续拓展新工艺并连续获得订单、出货，同比+57.0%，公司收入持续增加。盈利预测取投资评级：考虑到下逛扩产高景气、公司新产物放量，截至2026Q1末，同比增加41.9%；Q4单季营收为22.99亿元。同环比转负，（4）先辈封拆设备：晶圆对晶圆（W2W）夹杂键合设备获得反复订单并实现量产，持续获得客户复购订单。环比-19.9%。同比+62.7%；2026Q1公司运营勾当净现金流为-5.20亿元，2026Q1公司实现营收11.12亿元，首台SACVD等离子体加强SAF薄膜工艺设备通过客户验证。采购收入、员工薪酬收入同比添加。Lok-II、OPN、SiB等先辈工艺设备已通过客户验证，环比+54.1%，公司正在手订单金额约为110亿元，实现归母净利润5.71亿元，比拟2025岁暮+1.0%。同比大幅增加191.8%，业绩高增，同时拓展至分歧客户并通过验证；（3）CVD：SACVD和HDPCVD等沟槽填充产物不竭扩大量产规模，归母净利润为3.70亿元，环比-51.6%，截至2025岁暮，同比大幅增加次要系公司使用于先辈制程范畴的设备批量获得客户验证通过，同比扭亏为盈，产能、键合精度等环节目标大幅提拔；（2）ALD：是国产ALD工艺笼盖度第一的厂商，估计公司2028年归母净利润为30亿元，首台TiN工艺产物已通过客户验证；实现归母净利润9.27亿元，ALD设备累计出货跨越140个反映腔。2025年至2026Q1，同比+58.9%，